Le pompe molecolari a levitazione magnetica sono le pompe il cui albero è supportato in virtù della forza magnetica.
Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono apparecchiature per la generazione del vuoto sviluppate da KYKY per soddisfare i requisiti applicativi per i campi della moderna produzione di semiconduttori, produzione di chip, placcatura industriale e strumenti scientifici.
Tecnologie:
- Tecnologia di controllo per cuscinetti magnetici: L'elettromagnetico adottato è un levitato magneticamente a 5 assi. Questo design può avere una risposta dinamica e una regolazione tempestiva mediante la tecnologia di controllo delle sospensioni magnetiche a circuito chiuso attivo dinamico basata su una teoria di controllo internazionale avanzata, in modo da garantire vantaggi così significativi dell'albero ad alta velocità come funzionamento levitato stabile e affidabile.
- Tecnologia di controllo dell'azionamento del motore: Il motore DC ad alta efficienza ad alta velocità e il sistema di servocontrollo sono applicati alle pompe a levitazione magnetica in serie, in modo da avere la massima energia del motore e compensare automaticamente la velocità di rotazione dell'albero, realizzando così un avviamento stabile, un funzionamento affidabile e una regolazione automatica funzione dell'energia dinamica.
- Tecnologia del rotore composito in fibra di carbonio: I rotori turbo delle pompe molecolari seriali a sospensione magnetica sono realizzati mescolando una lega di alluminio ad alta resistenza e fibra di carbonio leggera. Rispetto a tutti i rotori in lega di alluminio, i rotori turbo sono caratterizzati da una grande riduzione del peso e un grande miglioramento della resistenza, in modo da raggiungere obiettivi di alta velocità di rotazione, alte prestazioni e alta affidabilità.
- Tecnologia resistente alla corrosione: Le superfici delle parti nelle camere delle pompe molecolari seriali a sospensione magnetica sono trattate con un processo speciale, in modo che le superfici possano resistere a lungo alla corrosione causata dai gas corrosivi nei processi di produzione dei semiconduttori. Inoltre, tali gas inerti come N2 sono completamente riempiti nell'albero delle pompe per proteggere le parti a basso vuoto nelle pompe, in modo da realizzare la funzione di scaricare stabilmente i gas corrosivi per lunghi periodi.
- Sistema di controllo della temperatura di riscaldamento: Le pompe molecolari serie a levitazione magnetica sono dotate di un riscaldatore elettrico e di un regolatore di temperatura, in modo che l'acqua di raffreddamento, il riscaldamento dell'aria, il riscaldamento elettrico e il calore trasportato dai gas protettivi possano essere monitorati e controllati durante il funzionamento, la temperatura nelle pompe può essere mantenuta a un certo valore a lungo termine, alcune sostanze gassose non vengono convertite in sostanze solide a temperatura normale e non si depositano nelle pompe, e possono essere soddisfatti i requisiti per processi speciali come l'incisione.
I vantaggi:
1. Zero attrito durante il funzionamento e basso consumo energetico
2.Facile da acquisire un vuoto spinto e un vuoto ultraelevato davvero puliti senza lubrificazione per le pompe
3. Capace di estrarre gas corrosivi a lungo termine
4. Elevata sicurezza e lunga durata grazie alla protezione dei cuscinetti con sfere in ceramica di precisione
5. funzione di generazione di potenza in caso di spegnimento improvviso
Specifiche:
Modello |
CXF-200/1401E |
Velocità della pompa (l/s, aria) |
1400 |
Rapporto di compressione |
>1×107 |
Vuoto finale (Pa) |
2×10-6 |
Flangia di ingresso |
DN200 ISO F |
DN200 ISO CF |
Flangia di uscita |
KF 40 |
Velocità di rotazione (rpm) |
33000 |
Tempo di esecuzione (min) |
6 |
VIB (mm) |
<0.05 |
Pompa di prevuoto (l/s) |
15 |
Montaggio o inserimento |
Qualsiasi |
Metodo di raffreddamento |
Acqua |
Peso (kg) (con controller) |
51 |
Applicazioni:
Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono principalmente applicate ai campi della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici, in particolare per l'estrazione di gas corrosivi esistenti in etch, CVD, PVD e impianto di ioni e gas facilmente coagulabili a temperatura normale.