Pompa a levitazione magnetica, CXF-200/1401E, raffreddamento ad acqua, a bordo

Breve descrizione:

Il cuscinetto elettromagnetico è anche chiamato “orsi levitati magnetici attivi”, costituito da un cuscinetto magnetico, un sensore e un sistema di controllo. Questo design ha una risposta dinamica e una regolazione tempestiva, l'albero ad alta velocità e un funzionamento affidabile.


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Le pompe molecolari a levitazione magnetica sono le pompe il cui albero è supportato in virtù della forza magnetica.
Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono apparecchiature per la generazione del vuoto sviluppate da KYKY per soddisfare i requisiti applicativi per i campi della moderna produzione di semiconduttori, produzione di chip, placcatura industriale e strumenti scientifici.

Tecnologie:

  • Tecnologia di controllo per cuscinetti magnetici: L'elettromagnetico adottato è un levitato magneticamente a 5 assi. Questo design può avere una risposta dinamica e una regolazione tempestiva mediante la tecnologia di controllo delle sospensioni magnetiche a circuito chiuso attivo dinamico basata su una teoria di controllo internazionale avanzata, in modo da garantire vantaggi così significativi dell'albero ad alta velocità come funzionamento levitato stabile e affidabile.
  • Tecnologia di controllo dell'azionamento del motore: Il motore DC ad alta efficienza ad alta velocità e il sistema di servocontrollo sono applicati alle pompe a levitazione magnetica in serie, in modo da avere la massima energia del motore e compensare automaticamente la velocità di rotazione dell'albero, realizzando così un avviamento stabile, un funzionamento affidabile e una regolazione automatica funzione dell'energia dinamica.
  • Tecnologia del rotore composito in fibra di carbonio: I rotori turbo delle pompe molecolari seriali a sospensione magnetica sono realizzati mescolando una lega di alluminio ad alta resistenza e fibra di carbonio leggera. Rispetto a tutti i rotori in lega di alluminio, i rotori turbo sono caratterizzati da una grande riduzione del peso e un grande miglioramento della resistenza, in modo da raggiungere obiettivi di alta velocità di rotazione, alte prestazioni e alta affidabilità.
  • Tecnologia resistente alla corrosione: Le superfici delle parti nelle camere delle pompe molecolari seriali a sospensione magnetica sono trattate con un processo speciale, in modo che le superfici possano resistere a lungo alla corrosione causata dai gas corrosivi nei processi di produzione dei semiconduttori. Inoltre, tali gas inerti come N2 sono completamente riempiti nell'albero delle pompe per proteggere le parti a basso vuoto nelle pompe, in modo da realizzare la funzione di scaricare stabilmente i gas corrosivi per lunghi periodi.
  • Sistema di controllo della temperatura di riscaldamento: Le pompe molecolari serie a levitazione magnetica sono dotate di un riscaldatore elettrico e di un regolatore di temperatura, in modo che l'acqua di raffreddamento, il riscaldamento dell'aria, il riscaldamento elettrico e il calore trasportato dai gas protettivi possano essere monitorati e controllati durante il funzionamento, la temperatura nelle pompe può essere mantenuta a un certo valore a lungo termine, alcune sostanze gassose non vengono convertite in sostanze solide a temperatura normale e non si depositano nelle pompe, e possono essere soddisfatti i requisiti per processi speciali come l'incisione.

I vantaggi:

1. Zero attrito durante il funzionamento e basso consumo energetico

2.Facile da acquisire un vuoto spinto e un vuoto ultraelevato davvero puliti senza lubrificazione per le pompe

3. Capace di estrarre gas corrosivi a lungo termine

4. Elevata sicurezza e lunga durata grazie alla protezione dei cuscinetti con sfere in ceramica di precisione

5. funzione di generazione di potenza in caso di spegnimento improvviso

Specifiche:

Modello CXF-200/1401E
Velocità della pompa (l/s, aria) 1400
Rapporto di compressione >1×107
Vuoto finale (Pa) 2×10-6
Flangia di ingresso DN200 ISO F
DN200 ISO CF
Flangia di uscita KF 40
Velocità di rotazione (rpm) 33000
Tempo di esecuzione (min) 6
VIB (mm) <0.05
Pompa di prevuoto (l/s) 15
Montaggio o inserimento Qualsiasi
Metodo di raffreddamento Acqua
Peso (kg) (con controller) 51

Applicazioni:

Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono principalmente applicate ai campi della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici, in particolare per l'estrazione di gas corrosivi esistenti in etch, CVD, PVD e impianto di ioni e gas facilmente coagulabili a temperatura normale.


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