Pompa a levitazione magnetica, CXF-320/3001E, raffreddamento ad acqua, ISO-F, a bordo

Le pompe molecolari a levitazione magnetica sono le pompe il cui albero è supportato in virtù della forza magnetica.
Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono apparecchiature per la generazione del vuoto sviluppate da KYKY per soddisfare i requisiti applicativi per i campi della moderna produzione di semiconduttori, produzione di chip, placcatura industriale e strumenti scientifici.

Vantaggi:

1. Zero attrito durante il funzionamento e basso consumo energetico
2. Facile da acquisire alto vuoto e ultra alto vuoto senza lubrificazione per le pompe
3. Capace di estrarre gas corrosivi a lungo termine
4. Elevata sicurezza e lunga durata grazie alla protezione dei cuscinetti con sfere in ceramica di precisione
5. funzione di generazione di energia in caso di spegnimento improvviso
6. Privo di attrito
7. Privo di inquinamento
8. Esente da manutenzione
9. Vibrazioni ridotte
10. installato in qualsiasi orientamento.

Applicazioni:

Le pompe molecolari a levitazione magnetica della serie sono principalmente applicate ai campi della produzione di semiconduttori, produzione di clip, placcatura industriale e strumenti scientifici, in particolare per l'estrazione di gas corrosivi esistenti in etch, CVD, PVD e impianto di ioni e gas facilmente coagulabili a temperatura normale.

Specifiche:

Tecnologie:

• Tecnologia di controllo per cuscinetti magnetici: un a levitazione magnetica a 5 assi, basato su una teoria di controllo internazionale avanzata, per garantire vantaggi così significativi dell'albero ad alta velocità come funzionamento levitato stabile e affidabile.
• Tecnologia di controllo dell'azionamento del motore: Motore CC ad alta velocità ad alta efficienza e sistema di servocontrollo, con la massima energia del motore e per compensare automaticamente la velocità di rotazione dell'albero, realizzando così un avvio stabile, un funzionamento affidabile e una funzione di regolazione automatica dell'energia dinamica.
• Tecnologia del rotore composito in fibra di carbonio: Realizzato mescolando lega di alluminio ad alta resistenza e fibra di carbonio leggera. caratterizzato da grande riduzione di peso e grande miglioramento della resistenza, in modo da raggiungere obiettivi di alta velocità di rotazione, alte prestazioni e alta affidabilità.
• Tecnologia resistente alla corrosione: Le superfici delle parti nelle camere sono trattate con un processo speciale, in modo che le superfici possano resistere a lungo alla corrosione causata dai gas corrosivi nei processi di produzione dei semiconduttori. Inoltre, i gas inerti come l'N2 sono completamente riempiti nell'albero delle pompe per proteggere le parti a basso vuoto nelle pompe, in modo da realizzare la funzione di scaricare stabilmente i gas corrosivi per lunghi periodi.
• Sistema di controllo della temperatura di riscaldamento: dotato di un riscaldatore elettrico e un termoregolatore, acqua di raffreddamento, riscaldamento ad aria, riscaldamento elettrico e calore trasportato da gas protettivi possono essere monitorati e controllati durante il funzionamento, la temperatura nelle pompe può essere mantenuta a un certo valore a lungo termine, un po' gassosa le sostanze non vengono convertite in sostanze solide a temperatura normale e non si depositano nelle pompe, e possono essere soddisfatti i requisiti per processi speciali come l'incisione.