Turbo pompa molecolare, F-400/3500B, raffreddamento ad acqua, lubrificazione ad olio
Vantaggi:
Questa serie di pompe offre buone prestazioni in condizioni ambientali difficili (temperatura elevata, polvere, ecc.), prestazioni stabili e lunga durata, manutenzione semplice e funzionamento conveniente.
Applicazioni:
Le applicazioni principali sono nel rilevamento di perdite industriali, PVD, CVD, impianto di ioni, produzione di componenti elettronici sotto vuoto, vetro low-E, vetro ITO, rivestimento ottico, celle solari, saldatura a fascio di elettroni, forni sottovuoto e altre industrie
Specifiche:
| Flangia（In） | DN400 ISO-K | Gas in tutto sccm） | N2：5500 |
| Flangia（fuori） KF | DN100 | Lui：4000 | |
| Velocità di pompaggio (L/s） | N2：3500 | H2：3200 | |
| Lui：2650 | Ar：2100 | ||
| H2：1280 | Velocità di rotazione giri/min） | 13500 | |
| Ar：3200 | Tempo di avvio (min) | 18 | |
| Rapporto di compressione | N2：108 | Tipo di raffreddamento, standard | Acqua |
| Lui：103 | Consumo acqua di raffreddamento （ L/min） | ≥1 | |
| H2：102 | Temperatura dell'acqua di raffreddamento（℃） | 25 | |
| Ar：108 | Collegamento di alimentazione: tensione (V CA) | DC24/AC220 | |
| Pressione ultimata (Pa) | 6×10-6 | Consumo energetico massimo W) | 1100 |
| massimo Pressione di prevuoto continua (Pa) | 100 | Modello del controller | FD-III |
| massimo Pressione di primo vuoto | N2：300 | Peso (kg) | 130 |
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