Vantaggi:
Questa serie di pompe offre buone prestazioni in condizioni ambientali difficili (temperatura elevata, polvere, ecc.), prestazioni stabili e lunga durata, manutenzione semplice e funzionamento conveniente.
Applicazioni:
Le applicazioni principali sono nel rilevamento di perdite industriali, PVD, CVD, impianto di ioni, produzione di componenti elettronici sotto vuoto, vetro low-E, vetro ITO, rivestimento ottico, celle solari, saldatura a fascio di elettroni, forni sottovuoto e altre industrie
Specifiche:
Flangia(In) | DN400 ISO-K | Gas in tutto sccm) | N2:5500 |
Flangia(fuori) KF | DN100 | Lui:4000 | |
Velocità di pompaggio (L/s) | N2:3500 | H2:3200 | |
Lui:2650 | Ar:2100 | ||
H2:1280 | Velocità di rotazione giri/min) | 13500 | |
Ar:3200 | Tempo di avvio (min) | 18 | |
Rapporto di compressione | N2:108 | Tipo di raffreddamento, standard | Acqua |
Lui:103 | Consumo acqua di raffreddamento ( L/min) | ≥1 | |
H2:102 | Temperatura dell'acqua di raffreddamento(℃) | 25 | |
Ar:108 | Collegamento di alimentazione: tensione (V CA) | DC24/AC220 | |
Pressione ultimata (Pa) | 6×10-6 | Consumo energetico massimo W) | 1100 |
massimo Pressione di prevuoto continua (Pa) | 100 | Modello del controller | FD-III |
massimo Pressione di primo vuoto | N2:300 | Peso (kg) | 130 |